影響潔凈室都有哪些因素
2021-02-10 11:03:47
影響潔凈室的氣流因素很多,如制程設備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等;以及生產(chǎn)設備上方氣流的分流點(diǎn)。
一般操作臺或生產(chǎn)設備等表面的氣流分流點(diǎn),應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業(yè)人員工作時(shí),氣流可從制程區內部流向作業(yè)區,而將微塵帶走;若分流點(diǎn)配置在制程區前方,將成為不當的氣流分流,此時(shí)大部份的氣流將流至制程區之后,作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面,工作臺因而將受到污染,良率也勢必降低。
潔凈室內的工作桌等障礙物,在相接處均會(huì )有渦流現象發(fā)生,相對地在其附近之潔凈度將會(huì )較差,在工作桌面鉆上回風(fēng)孔,將使渦流現象減少最低;組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善,亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。
潔凈室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的),否則將無(wú)法構成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室:天花板系統;空調系統;隔墻板;地板;照明器具。
注:潔凈室之建筑主體構造,一般是用鋼筋或骨水泥,但無(wú)論是何種構造,必須滿(mǎn)足以下條件:不會(huì )因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕;不易產(chǎn)生微塵粒子,且很難附著(zhù)粒子;吸濕性小;為了維持室內之濕度條件,熱絕緣性要高。