一.前言

　　潔凈室的氣流速度/換氣次數，一直是潔凈室設計中受到關(guān)注的問(wèn)題，隨著(zhù)潔凈室污染源的控制效果增加及末級過(guò)濾器效率的提高等，對有關(guān)規范、導則等提出的推薦或參考值是否偏于保守，已有不少討論;FFU在應用中人們擔心的噪音、損壞維修等問(wèn)題已在實(shí)踐中得到解決，隨著(zhù)FFU的不斷改進(jìn)，對是否采用FFU回風(fēng)系統也是個(gè)熱點(diǎn)：懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業(yè)中已日益提到日程上來(lái)，受到關(guān)注。以下對這些問(wèn)題的情況分別作歸納和分析。

　　二.氣流速度

　　2.1有關(guān)推薦或參考值的應用

　　潔凈室內一定潔凈度下氣流速度的確定，隨潔凈室用途等具體情況而異，它不僅受室內發(fā)塵量及過(guò)濾器效率還受其他因素影響，就工業(yè)潔凈室而言，影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是：

　　(1)室內污染源：建筑物組件、人員數量及操作活動(dòng)、工藝設備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源，根據具體情況而異，變化很大;

　　(2)室內氣流流型及分布：?jiǎn)蜗蛄饕缶鶆?、平等的流線(xiàn)，但會(huì )受到工藝設備布置和位置變動(dòng)及人員活動(dòng)情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合，避免死角及溫度分層;

　　(3)自?xún)魰r(shí)間(恢復時(shí)間)的控制要求：潔凈室中事故釋放或帶入污染物或空氣氣流的中斷或正常操作時(shí)的間歇性對流氣流或人及設備的移動(dòng)等都會(huì )造成潔凈度的惡化，恢復到原來(lái)潔凈度的自?xún)魰r(shí)間決定于氣流速度;對自?xún)魰r(shí)間的控制要求取決于此時(shí)間框架內(惡化的潔凈度下)，對產(chǎn)品生產(chǎn)的質(zhì)量及成品率影響的承受能力;

　　(4)末級過(guò)濾器的效率：在一定的室內發(fā)塵量下，可采用較高效率的過(guò)濾器以降低氣流速度;為節能應考慮采用較高效率的過(guò)濾器，并降低氣流速度，或采用較低效率的過(guò)濾器并采用較高的氣流速度，以求流量與阻力的乘積最小;

　　(5)經(jīng)濟性考慮：過(guò)大的氣流速度造成投資及運行費用的增加，合適的氣流速度為以上諸因素合理的綜合，過(guò)大往往不必要，亦不一定有效果;

　　(6)對潔凈度要求低的潔凈室，有時(shí)換氣次數決定于室內排熱的要求。

　　以上因素，皆很難量化，只能分析對比并估計。因此在工程應用中，對潔凈室的氣流速度往往參照有關(guān)規范、導則等的推薦或參考值，再按具體情況估計以上各影響因素進(jìn)行綜合考慮后確定。